談非半導體業挑戰SEMI安全標準的關鍵-策略、體質及適用性-



近幾十年來,全球電子高科技製造產業蓬勃發展,高度智慧化與先進技術帶來大幅提升產業經濟價值,更促進全球勞工數以萬計的就業機會。然而,電子科技業新興製程及其使用、生產與製造的原物料、機械設備、自動化流程等先進技術更趨精密化、系統化與智慧化的同時,也致使整體工作環境所帶來的危害相對複雜化且不容忽視,這些潛在的危害對於正積極發展的高科技產業,亟需採取有效的本質安全對策。

國際半導體設備材料產業協會(Semiconductor Equipment and Materials International, SEMI)董事會自1973年建立SEMI標準計畫,計畫目的在於創建使用於製造半導體相關產品的產業標準, SEMI標準可促進全球用戶和供應商之間了解半導體製造之定義和產品規格,以推動半導體產業在質量和性能方面的持續改進。其中包括安全相關基準(Safety Guidelines, S),使產業不只注重生產,同時也強化產業在公共安全、工業安全和環境保護方面的能力。 由於高科技產業快速發展,製程中使用之機械設備之風險也隨技術的演進而提高,因此SEMI S2與S10之安全基準也成評估機械設備是否足夠安全之依據。本篇內容將更進一步將探討,SEMI S2與S10在其他產業之執行影響與適用性探討描述。

1.設備安全基準SEMI S2與S10於國內高科技產業應用概況



有鑑於近年來,奈米製程、積體電路、面板或太陽能等高科技產業與半導體生產技術高度發展,生產之產品附加價值高,為追求更薄、更小、更優化之產品,產業對於技術依賴程度也就越高,智慧化生產與整合自動化儼然已成為當前趨勢。相對的,機械設備逐漸走向自動化、多元化與複雜化,工作場所的潛在危害風險也就多元且複雜,對於作業人員操作機台的能力、資格與訓練程度相比傳統產業也較高。

有鑑於此,全球越來越多高科技產業業者以SEMI 產業技術安全基準,作為提升機械設備之安全等級,加強生產之安全衛生效能的聖經。提到SEMI 安全基準,目前共計有30項安全基準,各項基準的制定參考結合了許多國際性的規範或標準、科學、技術、各項活動與專業經驗,並經由各相關機構合作與同意而訂定,例如國際標準組織ISO、IEC、美國ANSI等,雖然僅有引用的部分條文適用於SEMI基準,但其重要性絕對不亞於政府所制定的相關法令。較常見且運用廣泛的就屬SEMI S2、S8、S10等安全基準,對半導體及同類行業之設備,提供供應商和購買者等預期使用者,作為環保、健康與安全的設計原則或預防危害之參考。

2.其他產業應用SEMI S2與S10之適用性評估



鑑於SEMI S2、S10在高科技產業界的高度應用,回過頭來檢視此類安全基準對於其他產業(非半導體相關)或傳統產業有何限制條件及發展的適用性評估。經筆者初步分析,下列將分別提出其他產業使用SEMI S2與S10三點適用與三點不適用的原因,提供相關業者做參考。
其他產業適用SEMI 基準的三點原因:
‧ 依SEMI S2基準之安全理念而言,大致與國際標準ISO 12100相似,皆是希望設備供應商考量機械設備生命週期中任一階段之潛在風險,因此其他業界可以參考其風險評估流程,以較為深入的設計原則及方法,審視與評估設備產品之安全性能。
‧ SEMI S2基準引用許多國際性的規範或標準,這些國際標準已廣泛應用於其他業界之機械設備,因此業者若能自我要求達到SEMI 較高規格之安全需求,將對於事業單位的競爭力與產品賣點有更進一步的提升。
‧ 安全基準中如SEMI S1(標籤安全)、S6(排氣通風)、S8(人因工程)、S10(風險評估程序)、S21(人員防護安全)、S22(電氣設計安全)等基準,對於一般產業之工作環境或設備設計原則亦有提供說明及設置規範。雇主藉此研擬採購設備之安全需求,將有助於強化設備之安全性,將更能保障使用端人員安全及財產損失,此點源頭管理之理念依然適用。
其他產業無法適用SEMI 基準的三點原因:
‧ 由於高科技產業技術密集且高度自動化,製程與設備較為精密且複雜,使用化學品多屬高毒性及高危害性,SEMI基準為能完善考量高科技產業這類高風險場所,所制定之安全規範也相對較國內相關法令規定嚴格,因此其他產業製程與設備若要符合SEMI規格設置同樣等級安全措施,或採購要求符合SEMI認證標準,將對業者產生資金與技術方面的壓力。
‧ 前項提到高科技產業人力、財力、技術及資源較其他產業豐富與充足,業者可望符合SEMI條文的驗證需求,持續精進與發展。對於其他自主管理文化與知識尚屬不足的產業,中大型企業或許稍能應付得來,但對大多數人力、技術與資源缺乏的中小型企業,符合SEMI之要求將是極大的難題。
‧ 高科技產業其製程、材料、設備日新月異,工作環境潛在風險相對其他產業變動性大,SEMI安全基準較難融入國內法規運作,例如源頭管理制度,其他事業單位若用SEMI驗證則太嚴苛,相對的高科技產業設備若用國內機械相關標準則較為不足且寬鬆。此外其他產業若沒有自主管理的技術背景,即投入SEMI安全基準的運作模式,將可能發生綁手綁腳、過度限制因而導致阻礙產業發展的情形發生。因此其他非高科技產業應先評量SEMI基準的推展效益及自我安全文化意識,應用相關配套措施,才能使這份基準發揮最大的效用。

有鑑於此,全球越來越多高科技產業業者以SEMI 產業技術安全基準,作為提升機械設備之安全等級,加強生產之安全衛生效能的聖經。提到SEMI 安全基準,目前共計有30項安全基準,各項基準的制定參考結合了許多國際性的規範或標準、科學、技術、各項活動與專業經驗,並經由各相關機構合作與同意而訂定,例如國際標準組織ISO、IEC、美國ANSI等,雖然僅有引用的部分條文適用於SEMI基準,但其重要性絕對不亞於政府所制定的相關法令。較常見且運用廣泛的就屬SEMI S2、S8、S10等安全基準,對半導體及同類行業之設備,提供供應商和購買者等預期使用者,作為環保、健康與安全的設計原則或預防危害之參考。

結語



SEMI設備安全基準以高規格規範事業單位應符合之事項,基準訂定也較國內法規相比更加嚴謹,但對於製程複雜且高危害風險之高科技產業事業單位須致力達成SEMI基準的最基本安全需求。對於國內其他非半導體且多為小企業規模的事業單位而言,SEMI設備安全基準若想推廣使用於實務面並且落實執行,在有限的財力、人力、技術資源將可能窒礙難行,若沒有像半導體產業一樣有一定程度的產業自主管理運行,其他業者可能會有技術卡關、資源受限條件多等問題發生。惟業者應先從產業自主管理開始規劃架構,為提升安全衛生之意識與文化共同努力,同業之間須有足夠的共識,對於機械設備製造與使用端採購互相規範,政府單位提供部分資源與配套措施,將有機會以SEMI基準為參考依據,逐步強化工廠設備體質,持續推動更有助於提升整體產業設備安全衛生之發展,創造產業與事業單位的競爭力。

按:張恆瑞,中華民國工業安全衛生協會安全與環保技術服務處。